这一版不放原书 PDF、不复刻原书页面,而是把纳米集成电路制造的知识链条重写成设备工程师视角:从器件、光刻、刻蚀、薄膜、清洗、互连、量测、良率到封装,把“工艺为什么这样做”和“机台该盯什么”连起来。
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